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歐姆龍B5W-LB限定反射型傳感器在晶圓測試領域的應用

文章來源:廣州鼎悅電子科技公司 人氣:32 發表時間:2021-06-10 19:57:05

本文由廣州鼎悅電子分享歐姆龍B5W-LB限定反射型傳感器在晶圓測試領域的應用,那么首先我們來了解下什么是晶圓測試?晶圓測試是對晶片上的每個晶粒進行針測,在檢測頭裝上以金線制成細如毛發之探針,與晶粒上的接點接觸,測試其電氣特性,不合格的晶粒會被標上記號,而后當晶片依晶粒為單位切割成獨立的晶粒時,標有記號的不合格晶粒會被洮汰,不再進行下一個制程,以免徒增制造成本。

下面正式帶大家了解歐姆龍B5W-LB限定反射型傳感器在晶圓測試的應用:

特點: 

1全性卓越的LED

以往使用激光的激光式定位傳感器,激光會從加載口內側穿過FOUP直射操作人員,十分危險。B5W-LB成功使用LED光源。確保操作人員安全。

2亦可檢測玻璃晶圓

B5W-LB以反射光的位置來檢測,不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。


3可檢測涂氮晶圓

氮化膜具有可吸收特定波長光的性質,吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。因此,對于使用單波長激光的傳感器,可能會因光全被吸收而無法檢測。LED光源的光具有一定波長段,即使氮化膜晶圓也可準確檢測。

40.5ms的高速反應

實現0.5ms的高速反應。兼顧高速反應性和高精度。

5基于歐姆龍軟技術的高精度位置檢測

利用反射光量檢測時,反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結果。B5W-LB的受光部使用2段受光元件,通過反射光位置而非反射光量進行檢測。因此,受晶圓厚度和反射光量的影響較小。


6、安裝方式靈活

傳感器可以從正下方引出電纜,備有兩向螺釘安裝孔位,可根據實際情況靈活安裝。


7內置放大器的小巧、輕盈型

尺寸為寬度13mm×厚度8.4mm×進深20mm,質量約為1.6g的小巧、輕盈型。





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